Rasterelektronenmikroskopie (SEM)

Mit der Rasterelektronenmikroskopie können Details der Probenoberfläche im Nanometerbereich sichtbar gemacht werden.

• Ultrahochauflösende Rasterelektronenmikroskopie bis zu 4 Å Punktauflösung bei 30 kV (Hitachi S-5500).
• Kombination mit Hellfeld und Dunkelfeld Rastertransmissionelektronenmikroskopie (STEM).
• Elementaranalyse mittels EDX mit wenigen nm-Auflösung.
• SEM von Bulk-Proben in Kombination mit EDX-Analyse und unter variablem Druck (Hitachi S-3500N).